半导体激光保护液 | 晶圆激光开槽专用，散热防喷溅易清洗，适用Low-k/SiC/GaN切割

广州亦盛新材料科技有限公司自主研发的WE-2XX系列半导体激光保护液 | 晶圆激光开槽专用散热防喷溅易清洗适用Low-k/SiC/GaN切割应用背景随着芯片制程工艺的不断进步铜互连工艺和low-k材料被引入使用传统刀片切割易出现崩缺或裂纹等不良目前激光开槽技术为主流工艺半导体激光保护液作为伴生产品。产品介绍亦盛科技激光保护液为多功能复合材料主要应用于晶圆激光切割避免激光切割喷溅破坏晶圆表面。产品具有散热、阻热、冷却功能能有效降低热效应阻止镭射的热能扩散造成切割道过大有效防止切割后的碎屑喷溅到工件表面。切割后的保护液膜容易被移除不伤及表面。亦盛科技研发经验丰富还可以根据客户要求定制研发可跟线指导。目前量产的激光保护已经导入国内半导体企业大厂使用反馈效果良好。亦盛科技激光保护液性能特点●运用于半导体先进晶圆镭射开槽切削●用于散热、阻热、冷却、润滑、防喷溅之雷射保护液●具有优异的散热、阻热、冷却功能●具良好的润滑性能及易加工、易操作性、易清洁等特性激光保护液全系列产品适用工艺开槽工艺/半切工艺/全切工艺/激光保护液运用* 硅基晶圆激光切割* GaAs、InP晶圆激光切割* SiC、GaN激光切割使用方法将激光保护液以喷涂或是涂布的方式均匀的分布在晶圆表面后进行镭射切割。产品参数粘度20±10 cp/粘度60±10 cp / 粘度220±10 cp详情可咨询。包装规格5升/桶、20升/桶。保质期12个月。注意事项未使用完的切割液须将壶盖拧紧避免水分、杂油及杂质混入。样品申请与技术支持免费提供样品测试。#广州亦盛新材料科技有限公司亦盛科技成立于2008年是国家高新技术企业、国家知识产权优势企业及科技型中小企业并获评为创新型中小企业。亦盛科技亦是广东省专精特新中小企业和广东省工程技术研究中心亦为广东省知识产权示范企业也曾获评名优高新技术产品企业及科技型企业 。并且公司通过了ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系等认证是一家质量有把关的生产厂商是客户值得信赖的合作伙伴。